离子渗氮时，正离子在电场作用下到达至于负电位的零件表面和电子复合，因此要求零件表面清洁，不应有油污、油漆和划线用的紫色涂料等覆盖层。电绝缘的薄层阻碍正离子到达阴极，此时正离子将聚集在绝缘层的外侧，形成场致电厂。场致电厂增长到一定程度时，阴极产生场致电子发射，绝缘薄层被击穿，造成弧光放电，较强烈的放电，将在零件表面上留下肉眼可见的伤痕。在零件上的小孔中或组合件的接合面儿上或焊接零件的空腔内，也不允许有油类等易挥发物，否则零件温度升高，在挥发物蒸汽溢出处，由于局部气压和压力有较大的变化，将引起持续不断的电弧，一直到挥发物全部蒸发完后，电弧才会停止。集中的连续电弧给操作带来困难，并大大延伸了升温过程，还有可能造成油气溢出处局部烧熔。因此离子渗氮零件首先要进行彻底清洗，清洗的目的是为了尽量减少打弧，避免打大弧。保护渗氮零件并使渗氮处理得以顺利进行。
        清洗剂及洗涤方法有以下几种：
        汽油是我国目前用的最普遍的离子渗氮零件清洗剂，它去油能力强，使用方便，将零件放入盛有汽油的容器内，用毛刷刷洗，遇有小孔时应将刷子或棉丝探入孔内清洗，根据零件的清洁程度，洗刷1到3次即可，大型零件可用棉丝蘸汽油擦洗数次，组合件和有空腔的焊接件，应除油垢后再行装配和焊接。汽油洗涤适用于零星渗氮件和大件，对于大批渗氮件一个个的用汽油清洗效率较低，劳动条件也差，汽油及其蒸汽的易燃易爆特性，在操作时应特别注意，洗涤间应通风良好，严禁烟火。零件清洗后，必须等表面和孔内附着的汽油完全挥发后才能装炉，否则汽油抽到真空泵中，会使真空泵油变质。
        工业洗涤剂如CK-821，高效祛油除油剂，等都可用于清洗离子渗氮零件，使用时需加热至40-60℃，零件在其中浸泡，抖动数分钟后取出，用冷水冲洗后擦干，或于80℃热水中煮一下，然后放在空气中带零件上的水分蒸发干后即可装炉。工业洗涤剂适合清洗大批量的中小件，效率高安全，但需要加热清洗烧炼，少量零件不合算。清洗液配方为每升水加，CK-821除油剂30-35克。
        划线用的紫色涂料，再去油污之前先用酒精擦掉。
        国内某些单位，采用超声波清洗机，对于多孔的小零件能获得满意的清洗质量，经过清洗的零件表面或多或少总还是存在一些薄薄的油膜。因此，起辉后必须经过一个打散乎的电弧清理阶段，以继续清理渗氮表面。电弧清理阶段的长短，取决于零件的清洗质量，起辉表面积和电弧强度。零件清洗后，再置于250℃的空气电阻炉中烘烤，烧掉残存的油膜，可有效地缩短电弧清理阶段，较快地建立稳定的辉光。
        清洗零件时还应注意去除零件上的飞边毛刺孔内的切血，并且尽可能避免把棉丝粘在零件上。