为了保证心部有良好的综合机械性能，消除加工应力，减小氮化变形以及为氮化做好组织准备，工件在氮化前一般都要进行预备热处理。

结构钢氮化前常用的预备热处理是调质处理，以获得回火索氏体组织。

氮化件调质处理工艺对氮化质量有很大的影响。

例如38CrMoAlA氮化钢，由于含铝的铁素体稳定性高，加热时不容易溶入奥氏体中，如果淬火保温的时间不够或温度太低，都会使铁素体不能完全溶入奥氏体中，调质后有游离铁素体存在。

由于氮在铁素体中的扩散速度较大，该处在氮化后就会有较高的氮浓度，易形成针状氮化物，使氮化层脆性增大，容易剥落。因此调质后，表面层不允许出现游离铁素体，心部游离铁素体量不允许超过5%。相反，如果淬火温度过高，淬火后晶粒变粗，氮化物优先沿晶界伸展，氮化后出现波纹状或网状组织，也使氮化层脆性增大。

低可决定基体中碳化物的弥散度。

回火温度太高，基体中碳化物弥散度减小，氮化件心部强度、硬度不足，不能起支撑硬而脆的氮化层的作用。在外力作用下，尤其在较大接触应力作用下，往往会导致压碎或剥落，使零件过早失效。

回火温度过低，心部强度、硬度过高，零件预备热处理后切削加工较困难。另外还会降低氮化速度。所以，适当的选择回火温度，以调整碳化物的弥散度，使它既能使渗层和心部有较好的性能，又可得到一定的渗速。

38CrMoAlA钢由于含有钼和较高的铝，在加热时脱碳严重，脱碳层将导致氮化层脆性增加和硬度降低，所以38CrMoAlA钢氮化件的调质淬火，最好在有保护气氛的炉内加热，不得已时，工件应留有较大的加工余量，以保证机械加工时能将脱碳层全部加工掉。

对于形状复杂、尺寸稳定性及变形量要求很严的零件，在机械加工、粗磨后要酌情进行稳定化处理，更好的消除机械加工产生的内应力，以保证氮化处理变形量最小，组织稳定，稳定化处理温度应低于调质回火温度，以免降低基体的强度；保温时间一般为4～6小时。

不锈钢、耐热钢在氮化前也要进行特殊的热处理。因为这些钢的原材料组织中往往有带状偏析和双晶存在，而且一般晶粒较大，影响氮化后的质量。