离子渗氮的优点：与气体渗氮相比，离子渗氮具有许多优点，主要表象在：1、渗速快等离子体不仅供氮化能力强，而且可使工件表面活化，产生加速吸收和扩散的缺陷，因而离子渗氮可以大大缩短渗氮时间，特别是浅层渗氮时更为突出。例如渗氮层深度在0.3~0.5mm时，离子渗氮的时间仅为普通气体渗氮时间的1/3~1/5；2、渗层组织易于控制、脆性小气体渗氮工件表面会出现20μm以上的化合物层，是由ε+γˊ两相组成的不均匀混合物层，里层则为扩散层。因此，在化合物层内产生三向显微应力，若在此应力方向上再略施加外力，就会产生微小裂纹。此裂纹逐渐扩展而使整个化合物层剥落。含铬、铝渗氮钢的化合物层很脆，气体渗氮后均要把它磨去后才能使用。离子渗氮可以通过控制气氛中的氮和碳的含量比，或N₂和H₂的比例，可以获得5~30μm厚的脆性较小的ε相单相层或0~8μm厚的γˊ相单相层，也可得到韧性更优的无化合物层而仅有扩散层的渗氮层。这样可以不需要磨削直接装机使用；3、工件变形小因离子渗氮渗速快，所以渗氮时间大大缩短，又由于离子渗氮可以在更低的温度下进行（事实上350℃以上离子渗氮就有明显的硬化效果），并且阴极溅射作用可以弥补部分由于渗氮而造成的尺寸膨胀，真空加热、真空冷却可以控制加热速度，使之均匀，所以变形量比气体渗氮要小；4、节能、省气离子渗氮时，由于采用辉光放电加热工件，电能利用率高（主要集中消耗在工件上），与其它渗氮法的外热式装置相比，耗电较少。此外，因离子渗氮速度快，周期短，则必然比普通气体氮化能耗低。据统计，电能消耗仅为气体渗氮的40%~70%。离子渗氮是在66.5~798Pa低气压下进行的，离子渗氮的气压只相当于普通气体渗氮的百分之一以下，因此耗气量极少，仅为气体渗氮的百分之几；5、无毒、无臭、无公害气体渗氮，盐浴渗氮均有污染问题。离子渗氮可以用N₂+H₂、分解氨，无污染问题。即使采用氨气进行离子渗氮，由于压力很低，使用量极少，也不会产生公害及爆炸问题。除上述优点之外，离子渗氮还具有渗层性能（耐磨性、耐蚀性等）优于气体渗氮，设备维护费用低，使用寿命长，工作劳动强度小的特点。

       离子渗氮的不足之处：1、离子渗氮设备相对比较复杂，一次性的设备投资通常比气体渗氮高；2、先进的工艺装备对劳动者的素质要求较高；3、准确测定零件温度较困难；4、离子渗氮的温度场是不均匀的温度场，要使所装各工件（尤其是混装）温度均匀一致较困难，需积累一定的经验。