1.硬度偏低
生产实践中，工件渗氮后其表面硬度有时达不到工艺规定的要求，轻者可以返工，重者则造成报废。
造成硬度偏低的原因通常有：
设备方面：如系统漏气造成氧化。
材料方面：如材料选择不合理。
前期热处理：如基体硬度太低，表面脱碳严重等。
工件预处理不彻底：如进炉前的清洁方式及清洁度。
工艺方面：如渗氮温度过高或过低，时间短或氮浓度不足等等。
2.硬度和渗层不均匀
主要原因有：
装炉方式不合理。
气压调节不当。
渗氮处理期间温度不均匀。
炉内气流不合理。
3.渗氮后零件变形过大
变形是难以避免的，对易变形件，采取以下措施，有利于减小变形：
渗氮前应进行稳定化处理。
渗氮过程中的升、降温速度应缓慢。
保温阶段尽量使工件各处的温度均匀一致，对变形要求严格的工件，在工艺范围内，尽可能采用较低的氮化温度。
4.外观颜色有差别
不同材质的零件经渗氮处理后表面颜色是略有区别的，零件出炉后首先用肉眼检查外观质量，钢件经渗氮处理后表面通常呈银灰(蓝黑色)色或暗灰色(蓝黑色)，钛及钛合金件表面应呈金黄色。
5.脉状氮化物
氮化(特别是离子氮化)易出现脉状氮化物，即扩散层与表面平行走向呈白色波纹状的氮化物。其形成机理尚无定论，一般认为与合金元素在晶界偏聚及氮原子的扩散有关。因此，控制合金元素偏聚的措施均有利于减轻脉状氮化物的形成。工艺参数方面，渗氮温度越高，保温时间越长，越易促进脉状组织的形成，如工件的棱角处，因渗氮温度相对较高，脉状组织比其它部位严重得多。
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