零件渗氮后发生形状变化的原因是由于原先存在的内应力松弛和重新分布以及渗层体积膨胀产生的应力所致。因此，凡是能影响内应力分布的因素都可能使零件离子渗氮后出现形状扭曲、变形。生产实践及试验证明，下列因素对离子渗氮变形有影响：零件几何形状的对称性；渗氮层与心部厚度的尺寸比；零件横截面的变化；渗氮钢的化学成分；除应力处理效果极其后的机械加工应力；渗氮时零件的摆放；离子渗氮工艺规范及操作过程中升温速度及零件温度的均匀性等。由于对变形的影响因素多，变形规律复杂，具体零件的变形规律和数据应在实践中积累。
        渗氮后零件变形超差，原则上不允许校直，因为校直将造成渗氮层的开裂和剥落，以及使用过程中的变形。但对于渗层韧性较好的材料以及某些易变形的薄片状零件，采用专门的夹具进行加热校正，是允许的，原则是校直后不允许渗氮层出现裂纹。
        对于高精度零件，最后仍需要用磨削修正离子渗氮变形，渗氮前的磨削保留量应根据零件渗氮尺寸膨胀量和变形量加以确定。留磨量必须十分精确，过大，会磨去过多高硬度的渗氮表层，过小，则不能修正变形，达不到尺寸和精度要求。由于离子渗氮的膨胀量和变形均较气体渗氮小，故留磨量可以相应的减小。
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