我国生产上应用离子渗氮气源是液氨。一般把液氨气化后直接通入炉内。一部分是用热分解氨。氨气经过一个加热到800-900℃的含镍不锈钢容器中，或在容器中还放有镍基催化剂（采用铁基催化剂，如A6加热温度只需600℃），在高温和催化作用下，氨气分解成比例为1:3的氮氢混合气，再通入离子渗氮炉内。此外还有一些单位在氨气的基础上，加以少量酒精或丙酮进行离子氮碳共渗（软氮化），在实验室中还经常使用氮气、氢气、氩气、丙烷和液化石油气等作为氮、碳气源和稀释气氛。
        1、氨气，价格低廉，来源广泛，但有很多缺点，如渗氮层脆性较大（和热分解氨比）。氨在炉内的分解率随进气量温度和起辉面积而变，氮势不能控制，因此直接用氨气进行离子渗氮或氮碳共渗，都无法控制渗氮层组织。氨气在炉内各处的分解情况不同，靠近进气口处分解率最低，进入抽气口时分解率最高，因此炉内各处气体的成分是不同的，从而对辉光放电特性产生影响，造成零件表面电流密度不均匀。结果使零件温度不均匀。特别在井式炉或长管件内壁渗氮时这种影响更为严重。从真空泵排出的废气中，还含有相当数量未分解的氨气，对环境也造成一些污染。
采用热分解氨就能完全避免上述弊病.氨气热裂炉功率一般只需2-3KW，结构简单，花费不多，值得在生产中推广应用。
        国产液氨一般含水量较高，应经过干燥后使用。可选用干燥的红砖碎块、粉笔、硅胶或分子筛等作干燥剂。由于离子渗氮供气流量很小，所以干燥剂使用期限比气体渗氮长的多，可以定期取出干燥剂，经烘烤后再次使用或利用炉子的真空泵把干燥罐抽成负压，进行真空脱水，使干燥剂再生。
氨气减压阀与市场上出售的液化石油气减压阀较实用，这种阀的价格便宜，密封性好，流量及稳压效果都能满足离子渗氮的要求。但是阀内如有铜件，则需将它们改为钢件后使用，以以免铜件被氨腐蚀影响阀的性能。调节输出压力的弹簧需换成钢丝直径为2mm，尺寸大小相同的弹簧，可得到0-2kg/cm²的输出压力。
        2、氮气和氢气。离子渗氮时，氢作为稀释气体加入可调节渗氮气氛的氮势，能很容易的控制渗氮层的组织。氢气还起还原零件表面氧化物的作用，以获得所谓“活性”的表面，降低了对炉子漏气率的要求。氮气和氢气对环境没有污染。在离子渗氮的负压状态下，使用氢气是安全的，没有爆炸的危险。
        氮和氢的气源一般采用纯度为99.9%的工业纯的高压瓶装气。通过减压阀减压后即可应用。要求高时应先让气体通过硅胶或分子筛净化器，除去其中残存的水分后使用。有某些特殊要求时也采用氩，氪等气体作为氮的稀释气体，氩气加入有使辉光收缩的作用，容易使小孔内部渗氮，氪能强化阴极溅射，以抵消因氮的渗入而引起的体积膨胀。