对于低真空测量仪表，尤其应用在离子渗氮设备上都不很理想。目前国内外采用的是压缩式真空计、电阻真空计和膜片式真空计。
1.真空测量仪表
1）压缩式转动真空计
采用压缩式转动真空计可以测量炉内非可凝性气体的压强，测得数值的重复性好，也较正确，但不能连续测量。因有水银蒸发，使用时不宜与炉子长期联通，每次测定完毕，应将真空皮管夹紧密封。在没有正确测量仪表的条件下，尤其是工艺试验需要较准确测量压强时
2）电阻真空计
利用热导原理制成的电阻真空计，是一种价格较为便宜的仪表。但在离子渗氮中应用，由于氢气的存在，它的热导率与氮、空气等比较，相差近七倍，故其所测数值误差大，尤其在高压强时指示值能超出量程，但作为炉体极限真空度或起辉前真空度的测试，还可使用。
3）膜片式真空计
日本离子渗氮设备配带膜片式真空计和我国半自动控制型离子渗氮设备配带的膜片式真空计，都是在膜片上装有应变元件组成电桥，规管一端接参考真空室，一端接被测炉体的型式。试用中发现这种真空计和被测气体的成分关系不大，但有零点飘移和膜片的复原时间较长等缺点，且价格较贵。
2.炉压控制系统
离子渗氮炉内的气压是气流动态平衡的结果，炉压控制可以采用固定抽气速率，调整进气流量或无固定进气流量，调整抽气速度两种方法来实现。