整流电源采用直流供电是目前国内外离子渗氮设备供电的主要方式：
（1）调压变压器二极管整流电路
在功率较小的设备中，采用调压变压器调整交流电压后用二极管整流获得直流电，这种电路简单，加一定数量的电容滤波，可以得到比较平坦的电流波形。由于调压变压器的容量限制，而且多数为手动控制，灭弧方式只能采用大电阻降压或LC震荡灭弧，故对大容量设备不合适。采用电动调压变压器，其容量虽可达几百千伏安，但灭弧问题仍不易解决，而且价格甚高。
（2）可控硅整流电路
由于可控硅技术的发展，不仅有大容量，而且还有高速开关的元件。离子渗氮设备的电压调节可以采用各种触发电路，对控温，灭弧等自动控制的实现也较容易，目前离子渗氮设备大都采用可控硅整流方式。
原边调压使用的可控硅，由于电压较副边的低，故可以选择耐压较低的元件，但其谐波对供电电网干扰较大，对于像日本那样有多种供电线路的国家，其厂商生产的设备大都采用原边调压。而我国供电都在同一线路上，原边调压的干扰甚大，故一般都采用副边调压的整流方式。
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