电极和阴极支撑是离子渗氮热处理过程中能否保证稳定工作的重要部件之一，容易出现打弧、真空密封泄露等问题。
阴极和阴极支撑起辉的金属部分与绝缘体（熔铸云母）接触位置要有约0.7~0.9mm的间隙（渗氮压强越高，间隙越小），深约10mm，缝隙最好朝下，避免掉入杂物。
裸露在外的熔铸云母要定期打磨外表面，清除表面溅射上的铁膜。
离子渗氮炉的底盘上要有阳极和保护接地的专用接线处，炉底盘与钟罩之间也要有可靠的阳极连线。