1.真空度
设备的真空炉体必须具有良好的密封性能,通过真空获得系统,能够得到工艺所需要的真空度。
2.电绝缘
零件(阴极)对阳极必须有良好的电绝缘,以保证工艺正常进行和设备安全。
3.良好的灭弧性能
在得到稳定的辉光放电前,零件表面不可避免地要产生弧光放电,就是辉光稳定后,也有辉光向弧光转变的情况。而弧光放电的特点是低电压、大电流放电,这就要求设备具有良好的灭弧性能,不至损坏零件和设备。
4.水冷却
真空炉体必须有循环水冷却,以免温度过高橡胶密封件受热损坏。
5.隔热保温
真空炉体必须安装有隔热屏,一是为了节约电能,二是减少零件因热量散发而造成的温度不均匀。
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