离子渗氮真空炉的极限真空度为5×10^-2托，按我国真空的划分范围属于低真空范围，目前习惯采用真空度的单位为“托”，按国际通用标准应该为Pa，1托=133.33Pa。
        真空炉体的型式有井式（零件吊挂）、罩式（零件堆放）和综合式（零件吊挂、堆放均可）三种。
1.隔热屏
        为保证炉内零件温度均匀，减少热能损失，在真空炉内设置热屏是必要的措施之一。
        隔热屏应采用光亮平整反射强的材料。第二层采用合金铝的双层隔热屏结构，使效果尤为明显。
        对于要求温度更高或节省热能效果更显著的设备可以采用三层或更多层隔热屏。
2.阴极输电装置
        阴极输电装置是离子渗氮炉的关键零部件之一，是将高压直流电通过阳极的炉壁输送给阴极零件的一种机构，它要求具有输电、绝缘、密封、防止弧光放电和承重能力，而且要在受热状态下长期工作。采用一端固定密封，用成型瓷管绝缘，有横向和纵向间隙保护的输电装置可以确保安全运行。
3.观察窗
        离子渗氮炉体上设置必要的观察窗，用来观察辉光放电的进行和测量温度。测试表明，在观察窗附近的零件温度偏低，如观察床数量太多，必然会造成装炉无法避开观察窗正对的部位，从而造成零件温度不均匀。故在不影响观察的条件下应尽量烧开观察窗为好。
        观察窗玻璃在离子渗氮过程中会被溅射沾污，可用稀酸擦洗，为防止沾污可设置转动的挡板，对温度均匀也较有利，但由于动密封的增加，造成泄露的可能也就增加，在不影响观察和外观的条件下缩小观察窗面积也是方法之一。
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