离子渗氮设备是由供电和操作控制的电气系统、真空炉体、供气和抽气的气流动态平衡系统三大部分组成。
1.主要技术参数：
（1）电源电压
（2）电源相数
（3）电源频率
（4）整流输出额定功率
（5）整体输出额定电流
（6）最大处理表面积
（7）最大装载重量
（8）最大处理表面积
（9）额定温度
（10）工作空间尺寸
（11）工作气体流量范围
（12）极限真空度
（13）工作真空度
（14）压升率
（15）冷却水耗量
（16）外形尺寸
（17）重量
2.主要技术要求及试验方法：
（1）设备应设置电压、电流、温度、真空度和气体流量的测量指示仪表，对温度应能控制和记录。
（2）阴阳极之间，在非真空状态下，其绝缘电阻用1000伏兆欧表测量，应不低于4兆欧，水冷阴极应在不通水的条件下进行测量。
（3）阴阳极之间，在非真空状态下，应能承受工频电压2U₀+1000伏的耐压试验1分钟而无闪络或击穿现象，U₀为整流输出最高电压。
（4）极限真空度应不低于6.7Pa
（5）在空炉冷态，由大气抽到极限真空度所需的时间应不长于30分钟。
（6）压升率应不大于1.3×10^-1Pa/min
（7）在工作气体最大流量情况下，真空泵能保证所需的工作真空度66.7Pa~1066Pa（0.5~8托）范围内动态平衡。压强、工作气体流量用设备本身配套的仪表测量。
（8）设备应有可靠的灭弧装置，灭弧时间应在到达额定输出电流时测定，用人工送入气体使炉内阴极产生弧光放电，提示波器记录或观察弧光点的大小，至少应连续试验五次，每次间隔不长于30秒。
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