离子渗氮是通过高密度的辉光放电加热零件，电能利用率较高，与其他渗氮法所用的外热式相比，耗电较少。此外，离子渗氮速度快，处理时间短，因此是一种节约能源的热处理技术。特别是在设有隔热屏的离子渗氮炉中，处理大型零件，装炉量多时节能更为显著。
        离子渗氮气源采用氮和氢气或者用经过充分分解的氨气，所以根本不存在公害问题。即使直接通入氨气，由于工作压力很低，气体用量极小，也不用顾虑会产生公害。         渗氮气氛一般用氢稀释，但渗氮是在几托压力的真空容器中进行，即使由于某种原因在渗氮过程中进入空气也没有产生爆炸的危险。所以离子渗氮没有必要对有毒气体和排水处理方面采取特别措施。与其他渗氮方法相比，既节省了防治污染的设施和花费，又显著改善了操作环境。