真空系统主要由密封的炉体、真空橡胶管、蝶阀和真空泵组成。密封的炉体通过真空橡胶管、真空蝶阀与真空泵相连。
工作时，由真空泵将工作室抽成低真空状态，由真空蝶阀控制抽气速率。 真空度用电阻真空计、β真空计、水银真空计或片膜式真空计测量。传感器由炉底或炉盖插入，将电信号送至真空计进行测量。
青岛丰东热处理生产的离子氮化炉配备二级真空系统，通过工控机、PLC，自动整定PID参数，使离子氮化炉内压力实现闭环自动化控制，压力稳定无突变。