通常离子氮化炉经过长时间的使用磨损之后，会出现一定的漏气现象。轻微漏气不会影响正常的工件氮化质量，而严重漏气的话必然会影响工件氮化处理的质量，需要我们进行检测漏气位置，以及维修。
        真空漏气分实漏和虚漏两种。
        实漏：气体通过系统上的漏孔从高压侧流到低压侧的现象。
        虚漏：由于材料放气、解吸、系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。
        根据被检件所处的状态可分为：
        充压检漏法：向真空容器内充入正压气体，然后在容器外用肥皂水或将整个容器浸入水中检漏。
        真空检漏法：被检容器处于较高的真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如氦或易挥发液体酒精、丙酮等涂擦检漏部位，观察（相对）真空计是否有突变。如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在位置。